自倫琴發(fā)現(xiàn)X射線后，人們便開始對(duì)X射線大量研究。X射線的性質(zhì)往往表現(xiàn)為以下幾個(gè)方面：能使膠片感光（X光片）、照射金屬晶體等物質(zhì)時(shí)能夠產(chǎn)生熒光發(fā)射（閃爍計(jì)時(shí)器的閃爍體可進(jìn)行定量計(jì)算）、電離作用（正比計(jì)算器）、折射率幾乎為1（不能想普通光那樣利用折射現(xiàn)象將X射線聚焦）、具有衍射現(xiàn)象（XRD基于此實(shí)現(xiàn)，分光晶體）、穿透能力強(qiáng)（能量大，達(dá)到一定量對(duì)人體有不可逆損傷）、不受電場(chǎng)/磁場(chǎng)的影響等。

X射線強(qiáng)度是指幾乎平行的X射線光束1S內(nèi)透過(guò)與其垂直的1平方厘米平面面積的能量（單位為倫琴），在XRF分析中以單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)計(jì)數(shù)器窗口的入射X射線的光量子數(shù)的強(qiáng)度表示（Kcps, kilol counts per second）。

X射線照射到物質(zhì)時(shí)，物質(zhì)中所含元素特有的波長(zhǎng)的X射線熒光得到激發(fā)與發(fā)射。除此以外，還有不依存物質(zhì)內(nèi)元素的散射線湯姆遜散射線（彈性散射）和康普頓散射線（非彈性散射），并成為XRF的本底（背景），此外還有還有大量的入射X射線轉(zhuǎn)換成光電子和熱能。

X射線由X射線管產(chǎn)生，其基本結(jié)構(gòu)是由作為產(chǎn)生熱電子的陰極燈絲和把產(chǎn)生的電子用外加電壓將加速后電子撞擊停止的同時(shí)產(chǎn)生X射線的陽(yáng)極（靶）構(gòu)成的二級(jí)真空管，在靶附近有窗口，窗材使用X射線容易射透的金屬鈹。X射線管分為側(cè)窗型和端窗型，使用端窗X射線管的儀器中，要使用帶離子交換水的冷卻水裝置，見圖1-5。端窗型Rh靶射線管對(duì)比S原子序號(hào)小的元素有特別好的感度，而且對(duì)重元素也能得到較好的感度，在工程管理分析上大多使用這種X射線管。側(cè)窗型X射線管對(duì)重元素的分許多使用W/Mo靶射線管，對(duì)輕元素多使用Cr靶射線管。Mo靶對(duì)Hg、Pb、As等元素分析時(shí)經(jīng)常被使用。

X射線光譜儀的定量分析是相對(duì)值的測(cè)定，基于樣品產(chǎn)生的X射線熒光強(qiáng)度與元素含量的線性關(guān)系，所以定量分析時(shí)需要標(biāo)樣或者其他的間接分析手段，對(duì)測(cè)量京都有影響的因素有試樣表面的光潔度，X射線的統(tǒng)計(jì)變化，試樣中元素間的X射線的相互作用3種。

定量分析的注意事項(xiàng)：

1、在定性、定量分析時(shí)，盡量選用不重疊的譜線；

2、在用有譜線重疊的譜線做定量分析時(shí)，必須進(jìn)行干涉元素的重疊校正；

3、在決定分析譜線時(shí)，用譜線的波峰圖（組分定性分析），檢測(cè)譜線 重疊的影響很重要，必須要進(jìn)行操作。

吸收效應(yīng)和增強(qiáng)效應(yīng)，曲線a表示氫元素中重元素的X射線和含量的關(guān)系，種元素的分析光譜受輕元素發(fā)生的吸收效應(yīng)較小，所以在低含量范圍，重元素的X射線強(qiáng)度隨含量的增加而迅速上升，重元素含量很高以后曲線的斜率就變小了；曲線b時(shí)分析由原子序數(shù)相近的元素所構(gòu)成的樣品時(shí)所得到曲線，待測(cè)元素自身吸收稍大于其他共存元素吸收的情況；與a相反，曲線c時(shí)被測(cè)元素本身對(duì)其譜線的吸收比其他共存元素的吸收小的情況。作為檢測(cè)線所用的標(biāo)樣要選用跟未知樣品成分比例相似的標(biāo)品，這對(duì)避免吸收激發(fā)增加效應(yīng)的影響是很重要的。

內(nèi)標(biāo)法適用于粉末液體樣品，當(dāng)共存元素的影響（基體效果）大時(shí)，往樣品中添加內(nèi)標(biāo)元素進(jìn)行分析，內(nèi)標(biāo)法時(shí)使用與分析譜線接近的內(nèi)標(biāo)譜線對(duì)分析譜線的比值的方法，使用內(nèi)標(biāo)法時(shí)要注意：作為內(nèi)標(biāo)元素要選擇具有分析譜線接近的譜線而且是試樣中沒有的元素、內(nèi)標(biāo)譜線和分析譜線可以分別用K/L/M線、分析元素的含量沒有特殊限制、內(nèi)標(biāo)元素的添加量要達(dá)到時(shí)內(nèi)標(biāo)譜線的X射線強(qiáng)度和分析元素的強(qiáng)度同級(jí)別。

稀釋法，在共存元素的影響大時(shí)，有適當(dāng)?shù)奈镔|(zhì)稀釋來(lái)減少其影響的方法，此方法多被用于試液試樣，但也有用于粉末試樣，還有為了增加稀釋效應(yīng)而用原子序數(shù)大的物質(zhì)來(lái)稀釋（重元素稀釋），玻璃熔片法和點(diǎn)滴法對(duì)減少共存元素的影響有限。

基體校正法和重疊校正法（見儀器指導(dǎo)說(shuō)明書）。

增量法是當(dāng)沒有適當(dāng)?shù)臉?biāo)準(zhǔn)樣片時(shí)使用的方法，即往樣品中添加已知的與測(cè)量元素相同的元素，根據(jù)X射線強(qiáng)度的增加率對(duì)目的元素定量分析，但要注意：適用于1%以下、背景是否扣除、試樣的混勻程度。